Mg掺杂浓度对MgxZn1-xO薄膜结构和光学性能的影响

• 作者: 张海明 朱彦君 赵婷婷 高波
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 超声喷雾热解 MgxZn1-xO薄膜 光敏发光
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 450-454
• 分类号: O484
• 字数: 2087字
• 语种: 中文

摘要

通过超声喷雾热解工艺在P型<100>Si衬底上制备了不同Mg掺杂浓度的纳米MgxZN1-xO薄膜.通过扫描电镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)和光致发光(PL)谱的测试对不同Mg掺杂浓度下薄膜的表面形貌、成分、品体结构和光学性能进行了研究.SEM测试结果表明,低Mg掺杂浓度时,MgxZn1-xO表面平整致密,但随Mg浓度的增加,薄膜表而平整度降低.XRD测试结果表明在低浓度下MgxZn1-xO薄膜足ZnO的纤锌矿结构,而没有出现MgO的分相,ZnO的衍射峰峰强随Mg浓度的增加逐渐减弱.不同Mg掺杂浓度下的光致发光谱图均出现了近带边紫外发射峰和可见光发射峰,其中近带边紫外发射峰随掺杂浓度的增大出现了明显的蓝移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海明	天津工业大学理学院	55	265	7.0	14.0
2	高波	天津工业大学理学院	12	35	3.0	5.0
3	朱彦君	天津工业大学理学院	12	35	3.0	5.0
4	赵婷婷	天津工业大学理学院	2	8	1.0	2.0