CVD高纯钛成核热动力学及钛沉积速率分析

• 作者: 曾英 李武斌 梁佰战 王舟
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: CVD 高纯钛 成核 热力学 动力学
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 46-50
• 分类号: TF823
• 字数: 4248字
• 语种: 中文

摘要

采用化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛.以经典的成核理论为依据,对钛在沉积基体上的成核过程进行热力学和动力学分析,计算出成核过程吉布斯自由能△Gmax、成核速率v和临界晶核直径Do的数学方程;并且考察了影响钛沉积速率的因素,结果表明:卤化区的温度、分解区的温度、低价碘化物和高价碘化物的蒸汽压都对钛的沉积速率有一定的影响,其中两区的温度对钛的沉积速率影响较大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王舟	贵州大学材料与冶金学院	4	11	3.0	3.0
2	李武斌	贵州大学材料与冶金学院	8	23	3.0	4.0
3	梁佰战	贵州大学材料与冶金学院	5	25	2.0	5.0
4	曾英	贵州大学材料与冶金学院	4	7	2.0	2.0