等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺尾气危害性解析

• 作者: 廖雪江
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 学科: 工学
• 关键词: PECVD 工艺尾气 危害性 防护措施
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 专题研讨
• 页码范围: 1-3
• 分类号: TU8
• 字数: 2837字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-3298.2011.01.001

摘要

简要介绍了PECVD设备工艺尾气危害性及防护措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖雪江		2	1	1.0	1.0