甲烷浓度对金刚石薄膜质量的影响

• 作者: 史新伟 姚宁 安子凤 宋开兰 张水 王新昌
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 化学气相沉积 沉积工艺
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 64-67
• 分类号: TB43|TB34
• 字数: 2039字
• 语种: 中文

摘要

纳米金刚石薄膜具有优异的性能,已在多个领域获得广泛应用.但微波等离子体化学气相沉积制备的金刚石薄膜质量却严重受沉积工艺的影响,为了深入了解沉积工艺对制备的金刚石薄膜质量的影响,本文详细研究了甲烷浓度对微波等离子体化学气相沉积( MPCVD)金刚石薄膜质量的影响,利用扫描电镜、X射线衍射、拉曼光谱以及原子力显微镜对其进行结构表征,分析了甲烷浓度对所制备的金刚石薄膜质量的影响规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	122	692	12.0	18.0
2	王新昌	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	30	79	4.0	7.0
3	史新伟	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	28	177	7.0	12.0
4	安子凤	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	2	9	1.0	2.0
5	张水	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	3	9	1.0	3.0
6	宋开兰	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	10	13	2.0	3.0