蓝宝石红外窗口抗反射浮雕结构研究

• 作者: 冷雁冰 孙艳军 董连和
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 亚波长 浮雕结构 蓝宝石 抗反射
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 92-95
• 分类号: TH746.6
• 字数: 1665字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2011.02.006

摘要

采用相应技术,在红外材料表面制成的亚波长浮雕结构能实现红外波段的减反功能.在恶劣环境中,红外窗口采用该结构代替红外减反膜能够提高其抗蚀、抗冲击等性能.通过等效媒质理论设计亚波长浮雕单元结构,采用光刻及离子蚀刻方法完成蓝宝石材料表面浮雕结构制作,经测试红外透过率整体提高大约10%.经分析,浮雕结构的周期、占空比、单元深度等因素都对减反结果影响很大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董连和	长春理工大学光电工程学院	45	151	7.0	11.0
2	孙艳军	长春理工大学光电工程学院	36	106	6.0	9.0
3	冷雁冰	长春理工大学光电工程学院	34	117	6.0	10.0