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摘要:
介绍了多晶硅的主要生产方法即西门子法、硅烷法和冶金法,分析了国内外的相关研究者的研究成果和研究动向.在综合分析了这些方法的基础上,指出了未来多晶硅生产的趋势:硅烷法和冶金法由于能耗低、生产成本低等优点,将是未来多晶硅生产的主要技术.
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内容分析
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文献信息
篇名 多晶硅生产的研究现状及发展趋势
来源期刊 云南冶金 学科 工学
关键词 多晶硅 西门子法 硅烷法 冶金法
年,卷(期) 2011,(3) 所属期刊栏目 金属材料与加工
研究方向 页码范围 51-55,79
页数 分类号 TB39
字数 5578字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1006-0308.2011.03.011
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 俞小花 昆明理工大学冶金与能源工程学院 96 514 11.0 17.0
2 李荣兴 昆明理工大学冶金与能源工程学院 67 346 11.0 14.0
3 谢刚 75 262 8.0 12.0
4 田林 昆明理工大学冶金与能源工程学院 21 199 8.0 13.0
传播情况
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引文网络
引文网络
二级参考文献  (42)
共引文献  (102)
参考文献  (21)
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2020(1)
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研究主题发展历程
节点文献
多晶硅
西门子法
硅烷法
冶金法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
云南冶金
双月刊
1006-0308
53-1057/TF
大16开
昆明市圆通北路86号
1972
chi
出版文献量(篇)
2582
总下载数(次)
2
总被引数(次)
10954
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