多晶硅生产的研究现状及发展趋势

• 作者: 俞小花 李荣兴 田林 谢刚
• 来源期刊: 云南冶金
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 西门子法 硅烷法 冶金法
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 金属材料与加工
• 页码范围: 51-55,79
• 分类号: TB39
• 字数: 5578字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0308.2011.03.011

摘要

介绍了多晶硅的主要生产方法即西门子法、硅烷法和冶金法,分析了国内外的相关研究者的研究成果和研究动向.在综合分析了这些方法的基础上,指出了未来多晶硅生产的趋势:硅烷法和冶金法由于能耗低、生产成本低等优点,将是未来多晶硅生产的主要技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	俞小花	昆明理工大学冶金与能源工程学院	96	514	11.0	17.0
2	李荣兴	昆明理工大学冶金与能源工程学院	67	346	11.0	14.0
3	谢刚		75	262	8.0	12.0
4	田林	昆明理工大学冶金与能源工程学院	21	199	8.0	13.0