大气微波等离子体炬装置设计及实验研究

• 作者: 刘繁 刘长林 汪建华 熊礼威
• 来源期刊: 低温物理学报
• 关键词: 大气压力 等离子体炬 等离子体波导 放电
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 112-115
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

大气微波等离子体矩具有无电极放电污染、无需昂贵真空设备和易于连续化加工等特点,具有广阔的应前景.本文设计了一套基于BJ26波导的微波能利用率高、稳定性好的大气微波等离子体装置.该装置由最高输出功为800W的2.45GHz程控微波源、调配系统、波导谐振腔和耦合天线组成.利用加装游标卡尺的接触式短路活塞,微波反射面位置进行高精度调节,通过对波导谐振腔和耦合天线的设计,在大气环境下实现了微波等离子体的放电在不同微波功率、气源以及气体流量条件下进行了等离子体放电实验.结果表明,微波功率为700W、氩气流量为3103cm3/min时,等离子体放电强度最高、稳定性最强.利用电磁场理论对各种实验结果进行了详尽的分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华		123	698	14.0	19.0
2	熊礼威		37	243	9.0	14.0
3	刘繁		22	74	4.0	8.0
4	刘长林		4	34	3.0	4.0