表面计量中触针式仪器的若干进展

• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 表面计量 集成阻尼 随机表面
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 283-290
• 分类号: TP274
• 语种: 中文

摘要

在表面测量中,对于触针式仪器需求相当大,因为触测法对斜率不敏感,测量结果具有高度的逼真性,这使它适用于测量同时含有形状与纹理参数的复杂物体.但是由于它测量速度相对较慢,在某些场合会形成劣势.本文阐明可以通过优化阻尼因数来提高横向移动速度,通过建立能够确定触针是否承受过压的判据,使触针不会引起表面损伤.