一种新的微机械陀螺品质因数测试方法

• 作者: 徐淑静 高振宁
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 陀螺 品质因数 数字采集卡 LabVIEW
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 391-394
• 分类号: TH703
• 字数: 1986字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.06.008

摘要

传统的微机械陀螺采用扫频方法测试结构的品质因数,存在耗时长、测量效率低和精度差等问题.提出了一种新的品质因数测量方法,该方法的原理是通过对陀螺的驱动端施加一个激励脉冲,采集驱动检测端的相应衰减信号,并通过处理得到衰减信号的频率和斜率,从而检测陀螺的品质因数.采用自行设计的激励电路,外购NI公司的高速采集卡和基于LabVIEW的处理程序测试了陀螺的品质因数.采用该方法可以使一只微机械陀螺的品质因数测试时间从原来的3～5 min减少到20 s左右,极大地提高了测试效率和测试精度.通过对不同品质因数的陀螺样品的测量,充分验证了此种方法的效果和正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐淑静	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	56	5.0	6.0
2	高振宁	中国电子科技集团公司第十三研究所	2	6	2.0	2.0