高速生长CVD金刚石单晶及应用

• 作者: 吕宪义 张晴 成绍恒 李红东 王启亮 邹广田
• 来源期刊: 超硬材料工程
• 学科: 工学
• 关键词: 高速生长 CVD 金刚石单晶 退火 金刚石工具
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 研究和利用
• 页码范围: 1-5
• 分类号: TQ164
• 字数: 3326字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1433.2011.02.001

摘要

文章简要地介绍了近年来国内外CVD金刚石单晶的高速生长和应用进展.实验中采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)方法,同质外延高速生长金刚石单晶,通过改变反应腔压强、反应气氛(在CH4／H2中引入氮气N2、二氧化碳CO2、氧气O2、)等,调制单晶生长速率、质量、颜色、表面粗糙度、光谱等特性.利用高温氢等离子体进行退火,可使金刚石单晶的颜色有很大的改善.研制了CVD金刚石单晶刀具,用于金属材料的曲面镜面加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕宪义	吉林大学超硬材料国家重点实验室	27	302	10.0	17.0
2	邹广田	吉林大学超硬材料国家重点实验室	71	390	9.0	16.0
3	张晴	吉林大学超硬材料国家重点实验室	8	40	3.0	6.0
4	李红东	吉林大学超硬材料国家重点实验室	10	36	3.0	6.0
5	王启亮	吉林大学超硬材料国家重点实验室	2	17	1.0	2.0
6	成绍恒	吉林大学超硬材料国家重点实验室	3	19	2.0	3.0