基于梳齿间距偏差的微加速度计灵敏度模型

• 作者: 于奇 周伟 戴强 钱可强
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 微加速度计 灵敏度模型 梳齿间距偏差
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 101-105
• 分类号: TB934
• 字数: 3234字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2011.02.02

摘要

针对电容式微加速度计梳齿间距偏差所引起的灵敏度变化,基于高维数值积分与概率理论,并结合闭环微加速度计工作原理,导出了其灵敏度模型.当梳齿间距偏差分布在3.7～4.6 μm区间,施加在固定电极上有效电压分别为2.3 V、5.1 V和8.3 V时,其对应的灵敏度将处于120～195、55～85和32～51 mV/gn范围.在相同条件下,对一批体硅玻璃键合结构的微加速度计进行了实验测量,其灵敏度分别落在119.3～179.9、53.8～81.1和33.0～49.8 mV/gn区间.由此可见,该模型与实测值比较接近.模型指出了灵敏度与梳齿间距偏差的相互关系,从而可为微加速度计设计和工艺优化提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于奇	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	50	252	8.0	13.0
2	戴强	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	6	26	3.0	5.0
3	周伟	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	18	50	5.0	6.0
4	钱可强	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	1	1.0	1.0