微纳米级表面微观几何形貌和粗糙度特性测量方法

• 作者: 李成贵 熊昌友
• 来源期刊: 上海计量测试
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳米表面 表面粗糙度 微观几何形貌 测量方法
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 2-8
• 分类号: TG84
• 字数: 4077字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2235.2011.04.001

摘要

概述微纳米级表面微观几何形貌和粗糙度特性的几种测量方法和测量原理,如触针法、光学法、原子力法等,并介绍市场上在用的几类代表性表面形貌商用仪器(如粗糙度仪、轮廓仪、干涉仪、测量显微镜等)的特点、性能指标及应用范围,对微纳米级表面质量测量和评价有参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李成贵	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	91	890	16.0	25.0
2	熊昌友		1	10	1.0	1.0