切割速度对硅片翘曲的影响

• 作者: 于晋京 刘佐星 库黎明 张立 李耀东 程凤伶
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 线切割 翘曲度 切割速度 砂浆 磨削能力
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 制造工艺技术
• 页码范围: 368-372
• 分类号: TN305.1
• 字数: 3131字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2011.05.008

摘要

根据线切割机的工作原理,结合12英寸(1英寸=2.54 cm)单晶直径大、SiC磨削路线长和磨削发热量大的特点,制定了包括线速度、耗线量、砂浆温度、砂浆流量及各部分温度的工艺参数.根据单位时间内钢线的切割面积相等的理论设计了对称变化的切割速度曲线,又根据砂浆磨削能力的影响设计了非对称变化的切割速度曲线.用两种切割速度变化曲线进行了对比实验,根据实验结果确定在实际切割中必须考虑砂浆磨削能力的影响从而必须采用非对称的切割速度变化曲线.分析了影响线切割机加工质量的因素,并且给出了提高线切割机加工质量的改善方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	库黎明		6	13	2.0	3.0
2	刘佐星		3	11	3.0	3.0
3	张立		1	5	1.0	1.0
4	于晋京		1	5	1.0	1.0
5	李耀东		3	8	2.0	2.0
6	程凤伶		3	6	1.0	2.0