多功能超高真空高频除气系统的研制

• 作者: 卢少波 张吉峰
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超高真空 高频 除气
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 66-68
• 分类号: TN107
• 字数: 2407字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2011.04.018

摘要

通过介绍一台超高真空高频加热系统的研制过程,探讨了该类系统在设计制造中的难点和解决方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张吉峰		13	4	1.0	1.0
2	卢少波		4	3	1.0	1.0