基于图像配准的原子力显微镜图像热漂移失真校正

• 作者: 孙洁林 王春梅 胡钧 龙飞
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 热漂移 图像校正
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 核科学与交叉学科研究
• 页码范围: 877-880
• 分类号: TP751.1
• 字数: 2326字
• 语种: 中文

摘要

在室温大气环境中,原子力显微镜(AFM)的热漂移会影响扫描过程中针尖定位的精度,导致扫描图像的失真,从而增大基于AFM图像的二维测量的误差.针对这种失真,在图像配准方法的基础上提出了热漂移补偿方法,通过建立热漂移的线性模型,校正扫描的AFM图像,从而恢复样品的真实形貌,有效提高了AFM图像二维平面内的测量准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龙飞	上海交通大学生命科学技术学院	12	93	5.0	9.0
2	胡钧	上海交通大学生命科学技术学院	46	239	9.0	14.0
4	孙洁林	上海交通大学生命科学技术学院	11	35	3.0	5.0
7	王春梅	上海交通大学生命科学技术学院	4	12	2.0	3.0