MEMS微执行器平板运动稳定性研究

• 作者: 伍文昌 杜亦佳 涂程 鲍景富
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 静电微执行器 串联反馈 吸合效应 稳定范围
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 46-52
• 分类号: TH703
• 字数: 4838字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.01.009

摘要

在MEMS静电执行器设计中,由于吸合效应的存在,导致微执行器调节范围受到限制.首先,对微执行器吸合效应产生的原因及其影响进行了分析与阐述.然后,针对吸合效应所带来的问题,给出了多种解决方法,以及与这些方法相关的技术进展.最后,对这些方法的性能及优缺点进行了总结.这些解决MEMS微执行器吸合效应的方法分为三种:利用反馈方法扩展执行器稳定范围;通过特殊的结构设计扩展执行器稳定范围;通过改变微执行器工作环境扩展执行器的稳定范围.通过对这三种方法的阐述,进一步加深了对吸合效应问题的理解,为今后的研究奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲍景富	电子科技大学电子工程学院	51	296	7.0	14.0
2	杜亦佳	电子科技大学电子工程学院	8	23	2.0	4.0
3	伍文昌	电子科技大学电子工程学院	1	1	1.0	1.0
4	涂程	电子科技大学电子工程学院	1	1	1.0	1.0