端面磁流变抛光机研究进展

• 作者: 何建国
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁流变抛光技术 抛光机 端面 加工精度 光学制造技术 磁流变抛光液 光学元件 YLF晶体
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: TN929.11

摘要

YLF晶体、YAG晶体以及钕玻璃棒等元件的加工精度一直是影响神光-III主机强激光系统前端光束质量的重要原因之一，这些元件多为细长圆棒，口径小（最小为中5mm）、精度高（透射波前畸变优于0．2五、位相空间周期小于1mm、位相调制深度大于3λ）。磁流变抛光技术是近期才发展起来的一种新原理光学制造技术，主要利用磁流变抛光液的可控流变特性进行加工，能使光学元件加工质量得到突破性提升。