Al2O3缓冲层对以ZnO:A1为阳极的有机电致发光器件性能的影响

• 作者: 姚宁 崔娜娜 张兵临 王英俭 穆慧慧 葛亚爽 邢宏伟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 掺铝氧化锌 缓冲层 Al2O3 有机电致发光器件
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 144-148
• 分类号: TN383
• 字数: 2897字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2011.02.04

摘要

采用直流磁控溅射法制备ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜,薄膜电阻率为5.3×10-4Ω·cm,可见光区平均透过率大于85%.采用施加缓冲层的方法,在AZO和NPB之间加入一层Al2O3绝缘薄膜,提高了AZO阳极有机电致发光器件的性能,分析了Al2O3缓冲层的作用机理.结果表明施加1.5 nm缓冲层后器件的电流效率是单纯AZO阳极器件的3.4倍,同时也高于传统ITO器件.