高精度干涉仪镜头支撑结构的光机集成分析

• 作者: 伍凡 吴永前 吴高峰 张娟
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉仪 变形 Zernike多项式 有限元分析
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 先进光学制造技术
• 页码范围: 146-150
• 分类号: TP211+.6
• 字数: 1859字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.10.024

摘要

根据高精度干涉仪镜头的工作状况,给出了乎放时镜头的装卡方式.用Ansys Workbench有限元分析软件对镜头由重力、支撑结构所导致的面形变化进行仿真分析,在对光机结构进行有限元分析的基础上,反复优化镜头机械结构设计,从而使支撑结构引起的系统误差降到最低,以zcmike多项式为接口工具拟合镜面变形,评估了该支撑结构对镜头光学性能的影响.分析结果表明,在该支撑方式下,干涉仪镜头引入的渡像差的均方根值RMS＜1/50λ,满足像质要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴永前	中国科学院光电技术研究所	16	90	5.0	9.0
2	伍凡	中国科学院光电技术研究所	79	917	19.0	25.0
3	张娟	中国科学院光电技术研究所	62	472	11.0	20.0
4	吴高峰	中国科学院光电技术研究所	6	68	5.0	6.0