ZnO薄膜的椭圆偏振光谱研究

• 作者: 姜伟 康俊勇 张斌恩 李书平 李孔翌 詹华瀚 黄斌旺
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 椭圆偏振光谱 ZnO薄膜 光学常数 色散模型
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 971-974
• 分类号: O433.4
• 字数: 1992字
• 语种: 中文

摘要

采用椭圆偏振光谱法,在1.50～4.50 eV光谱范围内,研究了在蓝宝石衬底上使用分子束外延方法制备的纤锌矿结构ZnO薄膜的光学性质.对椭圆偏振光谱拟合结果表明,坦吉扩展(Tanguy extend)色散公式能更准确、方便地描述ZnO薄膜带边附近的折射率和消光系数的色散关系.提供了ZnO薄膜在1.50～4.50 eV光谱范围内的寻常光(o光)和非常光(e光)折射率和消光系数色散关系,为定量分析ZnO薄膜带边附近各向异性的光学性质提供了依据.