快速吸附与脱附的声表面波H2S传感器

• 作者: 付琛 何世堂 李红浪 梁勇 王秀东
• 来源期刊: 应用声学
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 SnO2/CuO H2S 气体传感器
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 213-219
• 分类号: TQ426
• 字数: 2215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-310X.2011.03.008

摘要

本文主要研究了基于SnO2/CuO薄膜的声表面波(SAW)传感器(室温下,工作频率约为147.8 MHz)检测H2S气体的特性.以360YXLiTa03为基片制作声表面波器件,通过采用射频磁控溅射法在其表面淀积Sn02/Cu0的复合薄膜制作出H2S气体传感器.由场发射电子扫描电镜观察薄膜,薄膜连续均匀且表面分布大量微气孔,因而具有良好的吸附性.然后本文在85℃～205℃范围内对传感器的吸附和脱附速率、灵敏度及选择性等进行了实验研究.实验结果表明,所制备的传感器在较低温度下同时具备快速吸附和脱附特性,工作在190℃时气体吸附和脱附速率最快,检测20 ppm H2S的响应和恢复时间分别为30s,15s;工作在160℃时,传感器检测20 ppm H2S的灵敏度最高,工作频率变化约230 kHz,且对于低浓度2 ppm H2S,频率变化可达45 kHz.同时,传感器也表现出良好的重复性和选择性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁勇	中国科学院声学研究所	88	1472	21.0	35.0
2	李红浪	中国科学院声学研究所	29	61	4.0	5.0
3	何世堂	中国科学院声学研究所	74	236	8.0	12.0
4	付琛	中国科学院声学研究所	3	7	2.0	2.0
5	王秀东	中国科学院声学研究所	2	2	1.0	1.0