非平衡磁控溅射沉积CrN用于液压杆件的研究

• 作者: 杨林生 汪洪波
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 非平衡磁控溅射 液压杆 镀膜
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 40-42
• 分类号: TB43
• 字数: 1703字
• 语种: 中文

摘要

目前液压杆件基本上采用电沉积的方法在基体表面沉积一层Cr膜,以此来满足其耐热、耐磨和抗腐蚀要求,但电沉积Cr不但浪费能源而且对环境和人体健康有着极大的伤害.本文利用非平衡磁控溅射的方法在45#钢表面获得6μm左右的Cr-CrN多层膜,通过对膜层进行物理性能测试、盐雾试验以及装车磨损寿命试验,结果表明利用非平衡磁控溅射方法在液压杆件基体上沉积CrN不仅可取代电沉积Cr,而且使用寿命大大提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪洪波		52	427	12.0	18.0
2	杨林生		1	1	1.0	1.0