φ150mm菲索干涉仪球面标准具结构分析与设计

• 作者: 杨怀江 王平 王汝冬 王立朋 田伟 隋永新
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 应用光学 菲索干涉仪 标准镜 镜面支承 有限元法
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与光学设计
• 页码范围: 275-278
• 分类号: V254|TQ342.742
• 字数: 3279字
• 语种: 中文

摘要

在高精度的光学元件面形检测中,为了保证检测的精度,必须对高精度菲索干涉仪的标准镜的自重和温度变形进行严格地控制.针对高精度菲索干涉仪标准镜的精度要求,设计了一种新的标准镜装卡结构.采用有限元方法分析了标准镜在胶接方式下的表面变形情况,参考面表面变形峰谷(PV)值仅为9.6nm,均方根(RMS)值为2.1nm.同时对不同环境温度下参考面的变形进行了计算得出面形的峰谷值和均方根值.最后介绍球面标准具的装配过程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	隋永新	应用光学国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	71	5.0	8.0
2	田伟	应用光学国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	11	2.0	2.0
3	王平	应用光学国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	11	2.0	2.0
4	王汝冬	应用光学国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	11	2.0	2.0
5	王立朋	应用光学国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	11	2.0	2.0