数字式测高仪定位误差的测量及补偿

• 作者: 林虎 殷建杰 陈洪芳
• 来源期刊: 机电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 测高仪 定位误差 激光干涉仪
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 141-143
• 分类号: TH816|TN711
• 字数: 1891字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4551.2011.02.003

摘要

定位误差是测高仪的主要误差源之一,为了提高测高仪的测量精度,研究了数字式测高仪定位误差的测量及补偿方法.以某公司生产的数字式测高仪为研究对象,以德国SIOS公司微型双平面镜十涉仪SP-D为高精度的标准量,实现了数字式测高仪定位误差的测量.采用二次多项式拟合的方法对测量数据进行曲线拟合,拟合前后的测量数据差值作为校正定位误差的偏差值,从而实现定位误差的补偿.实验结果表明,当测高仪滑座向上移动时,定位误差由0.009 3 mm减小到补偿后的0.004 6 mm,测高仪滑座向下移动时,定位误差由0.010 7 mm减小到补偿后的0.004 8 mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈洪芳	北京工业大学机械工程及应用电子技术学院	30	144	8.0	11.0
2	林虎	北京工业大学机械工程及应用电子技术学院	6	86	4.0	6.0
3	殷建杰	北京工业大学机械工程及应用电子技术学院	2	5	1.0	2.0