浅析反渗透膜材料在半导体工厂超纯水工艺中的应用

• 作者: 高鹏
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 学科: 地球科学
• 关键词: 纯水工艺 反渗透
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 43-45
• 分类号: X7
• 字数: 3091字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-3298.2011.01.011

摘要

就反渗透膜材料在半导体厂超纯水工艺中的应用原理,使用条件类型,具体的项目实践进行简单介绍与说明.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高鹏		4	3	1.0	1.0