激光热处理对类金刚石薄膜结构的影响

• 作者: 刘凡新 车晓舟 陈莲华 马洪涛
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 真空阴极过滤电弧 类金刚石薄膜 退火 激光功率 结构
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 76-79
• 分类号: O484
• 字数: 2416字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2011.01.15

摘要

用真空阴极过滤电弧法沉积了厚度为2 nm的类金刚石(DLC)薄膜,研究了激光加热退火时 薄膜结构和表面粗糙度的变化,分析了激光加热功率对薄膜结构的影响.结果表明,当激光功率小于200 mW时,DLC薄膜的结构基本保持不变;激光功率增大到300 mW,薄膜中少量的 sp3键转变为sp2键,但薄膜的表面形貌基本保持不变.随着激光功率增大到40 0 mW,薄膜中sp3键向sp2键的转变量增大;当激光功率达到500 mW时,薄膜中大量的sp3键转变为sp2键,sp2六原子环含量迅速增大,薄膜表面粗糙 度开始明显增大,出现凹凸不平的表面形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	车晓舟	华南理工大学材料科学与工程学院	20	212	6.0	14.0
2	陈莲华	华南理工大学材料科学与工程学院	5	90	3.0	5.0