在线低压等离子清洗研究

• 作者: 杜海文 杨文伟 王大伟 续艳鑫
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 低压等离子 接触角 等离子清洗 表面自由能 粘附功
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 微组装SMT PCB
• 页码范围: 12-15,27
• 分类号: TN6
• 字数: 3152字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2011.01.004

摘要

介绍了一种高效环保的在线等离子清洗方法,深入研究了低压下等离子的清洗原理和在线式的清洗机制,提出了介质气体的选配原则,分析了榆测表面自由能和洁净程度的接触角测试方法.通过实验,在氩等离子在线清洗中,用接触角测试仪测定固体表面清洗前后粘附功的变化,发现在氩等离子清洗后固体表面粘附功提高了54.7%,相对于普通的射频等离子清洗其效率提升了约75%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜海文		5	13	2.0	3.0
3	王大伟		8	18	2.0	4.0
4	续艳鑫		2	13	2.0	2.0
5	杨文伟		1	5	1.0	1.0