CZ单晶炉中碳和氧的产生及其对单晶硅生长的影响

• 作者: 曾建平
• 来源期刊: 宁夏工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: CZ单晶炉 碳 氧 单晶硅
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 新材料、新工艺、新技术研究与应用
• 页码范围: 303-305,308
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2604字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7244.2011.04.007

摘要

以FerroTec集团生产的FT-CZ2008型单晶炉为研究对象,介绍CZ单晶炉的基本结构,阐述单晶硅的生长工艺.从单晶炉炉体结构和单晶硅的生产工艺及其他因素共3个方面分析该系统中影响碳和氧生成的因素,并给出实验数据分析结果,得出碳和氧对单晶硅生产质量的影响程度,期望对企业进一步改进单晶炉结构、革新单晶硅生长工艺、提高单晶硅生产质量有所帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾建平		3	10	2.0	3.0