多晶硅太阳电池表面绒面制备工艺优化

• 作者: 张发云 李水根
• 来源期刊: 电源技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 酸腐蚀 绒面 反射率
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 1246-1248
• 分类号: TM615
• 字数: 1832字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2011.10.020

摘要

采用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面,利用正交实验法研究了不同腐蚀液配方中的HNO3、HF和缓和剂NaH2PO4·2 H2O的含量对多晶硅太阳电池绒面的反射率和腐蚀速度的影响.结果表明:NaH2PO4·2 H2O溶液对腐蚀速度有着显著的影响,其次为HF溶液和HNO3溶液;对于反射率来说,其影响因素的重要性主次顺序为HF溶液、HNO3溶液、NaH2PO4·2 H2O缓和剂.在本实验条件下,最佳的酸腐蚀混合液配方为HF∶HNO3∶NaH2PO4·2 H2O=9∶1∶7,在该工艺条件下,制备的硅片绒面腐蚀坑较为均匀,反射率为17％左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张发云	新余学院新能源科学与工程学院	26	105	5.0	9.0
2	李水根	新余学院新能源科学与工程学院	15	66	6.0	8.0