重掺杂硅微球的脉冲放电法制备研究

• 作者: 冯海娣 张伟 张志伟 汪炜 洪捐
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 重掺杂 硅微球 脉冲放电 太阳能电池
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 设计·研究
• 页码范围: 19-22
• 分类号: TG661
• 字数: 2517字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-279X.2011.04.005

摘要

硅微球的制备是开发新型薄膜太阳能电池和选择性发射极电池的关键技术之一.采用重掺杂单晶硅(电阻率为0.01 Ω·cm),在液体介质中利用脉冲放电方法产生局部瞬时高温,制备球状硅微粒.对比电火花线切割和电火花成形两种加工方法,通过对放电区域的温度场分布进行数值模拟,并采用SEM/EDS方法对其微观形貌和成分进行表征和分析,初步掌握了硅微球的形成机理.利用成形加工方法,成功制备出0.5～2 μm的硅微球.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪炜	南京航空航天大学机电学院	96	639	12.0	20.0
2	张志伟	南京航空航天大学机电学院	10	82	5.0	9.0
3	张伟	南京航空航天大学机电学院	83	456	11.0	17.0
4	洪捐	南京航空航天大学机电学院	6	3	1.0	1.0
8	冯海娣	南京航空航天大学机电学院	3	10	2.0	3.0