双面PSD器件的工艺制作

• 作者: 徐姗姗 汪继芳 陈计学
• 来源期刊: 集成电路通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 双面PSD 双面光刻 氧化扩散
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 41-43
• 页数: 3页
• 分类号: TP368.1

摘要

介绍了双面PSD器件的结构原理及其制作技术。重点介绍了双面对准技术，解决了双面PSD器件的工艺难题，研制出了灵敏度高、线性度好的双面PSD器件，为双面PSD器件的制作提供一条工艺技术途径。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪继芳		10	0	0.0	0.0
2	徐姗姗		4	0	0.0	0.0
3	陈计学		4	0	0.0	0.0