基于MEMS技术的SU-8仿昆虫微扑翼飞行器设计及制作

• 作者: 刘武 吴校生 孟坤 崔峰 张卫平 李洪谊 迟鹏程 陈文元
• 来源期刊: 机器人
• 关键词: 微扑翼飞行器 SU-8 MEMS 仿生机器人
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 论文与报告
• 页码范围: 366-370
• 分类号: TP242
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1218.2011.00366

摘要

为研制一种轻质仿昆虫微扑翼飞行器,提出了采用微机电系统(MEMS)领域的SU-8光刻胶作为结构材料的制作方案.基于仿生学原理和微机电系统加工技术,设计微扑翼飞行器结构及MEMS 工艺方法.研究结果表明,该种结构设计及制作方案满足设计要求,为仿昆虫微扑翼飞行器的研制提供了一种很好的途径.