SU-8胶双光子微加工分辨率与工艺条件研究

• 作者: 宋旸 段宣明 董贤子 赵震声
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 双光子聚合 微加工 分辨率 SU-8光刻胶 飞秒激光
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 40-45
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3361字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.01.008

摘要

为了提高SU-8光刻胶的微加工分辨率,利用飞秒激光双光子聚合技术研究了SU-8光刻胶微加工时的加工工艺条件与分辨率之间的关系.实验在本研究组自主研制的纳米光子学超细微加工系统上进行,以钛蓝宝石飞秒激光器发出的780 nm波长激光作为加工光源,考察了不同激光功率与曝光时间等激光加工条件和后烤与无后烤等工艺条件对SU-8聚合点形貌与尺寸的影响.在后烤工艺条件下获得的最小加工点直径为0.22/μm,而无后烤过程的加工结果中这一数值为0.47μm.实验结果表明,降低激光功率和缩短曝光时间可以获得尺寸较小的聚合点,后烤工艺有利于降低加工能量并提高加工分辨率,实验结果与基于双光子聚合加工理论的模拟分析具有良好的一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段宣明	中国科学院理化技术研究所有机纳米光子学实验室	25	80	5.0	7.0
2	赵震声	中国科学院理化技术研究所有机纳米光子学实验室	17	64	4.0	7.0
3	宋旸	中国科学院理化技术研究所有机纳米光子学实验室	2	13	2.0	2.0
7	董贤子	中国科学院理化技术研究所有机纳米光子学实验室	14	35	3.0	4.0