反应溅射制备MoO3薄膜及其光学和电致变色性能研究

• 作者: 宋桂林 尤天友 常方高 杨海刚 王天兴
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: MoO3薄膜 磁控溅射 氧流量 光学性能 电致变色性能
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 58-61
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 3181字
• 语种: 中文

摘要

本文采用磁控溅射方法,通过金属钼靶材在Ar+O2气氛中反应溅射制备了氧化钼薄膜.在制备样品过程中改变反应气氛O2的流量,保持其它参数不变,得到不同的氧化钼薄膜.采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)方法对MoO3薄膜样品结构进行表征.XRD测试结果表明MoO3薄膜样品均为非晶结构.MoO3薄膜样品的光学性能和电致变色性能采用分光光度计进行测试研究.研究结果表明,当反应气氛O2/Ar流量比例为1:5时,所制备的样品具有较高的可见光透射率,可见光平均透射率为90%,并且电致变色性能较好,调色范围达到了66.94%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋桂林	河南师范大学物理与信息工程学院	36	125	6.0	9.0
3	王天兴	河南师范大学物理与信息工程学院	23	82	5.0	7.0
5	杨海刚	河南师范大学物理与信息工程学院	17	50	4.0	6.0
13	尤天友	河南师范大学物理与信息工程学院	3	3	1.0	1.0