集成铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器的制作

• 作者: 张然 褚金奎 陈兆鹏
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: SU-8胶 金属压阻 微力传感器 悬臂梁
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2935-2940
• 分类号: TP212.12
• 字数: 3094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111912.2935

摘要

由于SU-8胶的弹性模量比硅的低,在SU-8胶悬臂梁上集成金属压阻可获得很高的力灵敏度系数,因此本文基于SU-8胶设计并制作了一种集成蛇形结构铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器.介绍了制作微力传感器的新型工艺,并进行了传感器性能测试.实验结果表明:设计的SU-8胶微力传感器在0～350μN具有较好的线性度,力灵敏度为0.24 mV/μN,测量误差为4.06％.该微力传感器可以满足对微小力的测量,相对于硅材料的微力传感器,其制作工艺更加简单,周期更短.由于SU-8胶的生物兼容性好,该传感器在生物医学研究领域有着很好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚金奎	大连理工大学机械工程学院	119	1260	20.0	30.0
2	张然	大连理工大学机械工程学院	27	82	5.0	8.0
3	陈兆鹏	大连理工大学机械工程学院	2	11	1.0	2.0