复杂结构微晶玻璃光学零件化学抛光技术

• 作者: 丁向东 刘杰 回长顺 矫灵艳 金玉竹
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微晶玻璃 化学抛光 确定性 光学加工
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 先进光学制造技术
• 页码范围: 85-89
• 分类号: TB302|TG115.3
• 字数: 2042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2011.12.016

摘要

针对激光陀螺光学腔体这种复杂结构的光学零件,采用传统的光学抛光的方法无法对其凹槽、孔道进行抛光的问题,提出了一种采用化学溶液对玻璃进行侵蚀的化学抛光技术.本文分析了微晶玻璃的组成及化学抛光的机理,制备了适合的化学抛光溶液,设计了抛光技术方案、工艺流程及方法.对化学抛光后的光学表面进行了测试、分析,结果表明:采用NH4HF2、H2O、添加剂组成的化抛溶液,抛光后能够得到光滑、透明玻璃表面,抛光表面的粗糙度可达0.2～0.3μm,可见光透过率88％～90％,化学抛光去除量为0～100чm,本研究实现了复杂结构的光学零件的“确定性”化学抛光.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘杰		3	12	1.0	3.0
2	矫灵艳		1	1	1.0	1.0
3	回长顺		1	1	1.0	1.0
4	金玉竹		1	1	1.0	1.0
5	丁向东		1	1	1.0	1.0