O型MEMS平面微弹簧弹性系数研究

• 作者: 吴鹏飞 张国俊 戴丽萍 王姝娅 钟志亲
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 平面微弹簧 卡氏第二定律 弹性系数 有限元方法(FEM)
• 年，卷（期）: 2011,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 660-663
• 分类号: TH703
• 字数: 1611字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.10.008

摘要

对封闭O型MEMS平面微弹簧建立力学分析模型,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧弹性系数的计算公式,并用ANSYS进行有限元仿真,仿真结果表明,两者的相对误差低于2％.在计算公式和仿真的基础上,研究了各种结构参数对弹性系数的影响规律,结果表明,弹性系数随节数和弯半径的增大而减小,随梁宽和厚度的增大而增大.研究结果为其他封闭结构的MEMS平面微弹簧的分析和设计提供了一定的借鉴.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴鹏飞	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	4	20	3.0	4.0
2	张国俊	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	57	231	8.0	11.0
3	戴丽萍	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	16	54	5.0	6.0
4	钟志亲	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	12	38	4.0	5.0
5	王姝娅	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	14	45	4.0	6.0