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摘要:
多晶硅还原预热启动方式中,有很多种启动方式,国内大部分最先采用的是氮气气氛下用卤素灯加热预启动方式,或者用三相高压击穿启动.然而上述方式都存在启动时间长、设备成本较高等问题.因此针对现有多晶硅还原炉启动,本文介绍了一种高压击穿二相烘烤一相的启动方式,更高效,更经济,更稳定.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 12对棒还原炉预热启动方式的优化研究
来源期刊 东方电气评论 学科 工学
关键词 高压击穿 多晶硅 氢气气氛 启动时间
年,卷(期) 2011,(1) 所属期刊栏目 光伏发电
研究方向 页码范围 76-77
页数 分类号 TN304.05
字数 1050字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-9006.2011.01.015
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研究主题发展历程
节点文献
高压击穿
多晶硅
氢气气氛
启动时间
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研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
东方电气评论
季刊
1001-9006
51-1333/TM
大16开
成都市高新西区西芯大道18号
62-187
1987
chi
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