溶胶-凝胶法制备高折射GPTMS/TiO_2-ZrO_2材料

• 作者: 刘志猛 刘煜平 曾幸荣 李巧龙 林晓丹 黄佐华 黄敏
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 TiO2-ZrO2 高折射率 杂化材料
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 32-36
• 分类号: TN305
• 字数: 3513字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1681-1070.2011.08.012

摘要

以正钛酸四丁酯、四正丁氧基锆和γ-（2,3-环氧丙氧）丙基三甲氧基硅烷（GPTMS）为原料,采用溶胶-凝胶法,通过在玻璃上涂膜、热固化交联方式制备了具有高折射良好透明性的GPTMS/TiO2-ZrO2纳米复合杂化材料。采用FTIR、AFM、紫外可见分光光度计、椭偏仪等对杂化膜进行表征。结果表明,所制备的杂化膜平整性好,在可见光范围膜层的透过率在91%以上,膜层在632.8nm处的折射率随着TiO2-ZrO2质量分数的增加（10wt%~50wt%）在1.491~1.618范围内变化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾幸荣		266	2480	26.0	34.0
2	黄敏		31	304	9.0	16.0
3	刘煜平		45	396	11.0	18.0
4	林晓丹		40	521	12.0	21.0
5	黄佐华		63	586	13.0	22.0
6	李巧龙		1	3	1.0	1.0
7	刘志猛		1	3	1.0	1.0