基于FPGA的数字化中频磁控溅射电源设计

• 作者: 刘艺超 李云程 陈文光 饶益花
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 中频磁控溅射电源 Buck斩波 数字化控制器 FPGA
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 65-68
• 分类号: TN86
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种全数字控制的中频磁控溅射电源设计.主电路前级采用直流斩波调压,后级采用全桥逆变的电路结构.控制电路由现场可编程门阵列(FPGA)计算产生高分辨率的数字脉宽调制信号(DPWM)实现.电源工作于恒流模式,通过PID算法调节Buck斩波电路的驱动DPWM来实现闭环控制.全桥逆变电路的驱动信号由FPGA计算产生,通过按键可设置驱动的DPWM,输出所需的固定频率和占空比的矩形波.对于靶面微打弧和强打弧,FPGA采取不同的保护措施.最后制作了5kW的样机进行验证,实验证明,方法可行,具有好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈文光	南华大学电气工程学院	66	288	10.0	14.0
2	饶益花	南华大学电气工程学院	37	153	7.0	10.0
3	刘艺超	南华大学电气工程学院	2	5	1.0	2.0
4	李云程		2	9	2.0	2.0