基于PLC的多晶硅热分解炉监控系统设计

• 作者: 韩强 骆袁林
• 来源期刊: 电气传动
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 控制系统 PLC 组态软件
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 计算机应用
• 页码范围: 58-61
• 分类号: TP273
• 字数: 2407字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2095.2011.03.014

摘要

根据某多晶硅生产厂热分解工段的工艺流程及控制要求,设计了一套热分解炉控制系统;针对硅烷法生产多晶硅时分解反应需极高安全性,介绍了多晶硅生产的主要设备,分析了系统硬件构成及软件控制流程;提出了将PLC与工业以太网技术相结合,通过组态软件实现上位机监控的系统,并在工艺要求下,实现热分解炉温度PID控制;经试运行及实际生产表明,该系统安全稳定高效,可生产高纯度多晶硅,满足生产需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩强	东华大学机械学院	27	78	5.0	6.0
2	骆袁林	东华大学机械学院	1	2	1.0	1.0