多晶硅中杂质元素B、P的来源分析

• 作者: 储少军 林俊峰 郎永沛
• 来源期刊: 铁合金
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 B P 炭素材料
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 生产工艺
• 页码范围: 11-13
• 分类号: TF645.3.4
• 字数: 3001字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1943.2011.05.003

摘要

为达到太阳能级多晶硅产品的要求,去除杂质元素B、P,以多晶硅生产为例,分析了各环节脱除B、P的效果,以及采用矿热炉生产工业硅过程中B、P的来源和去向.结果表明,工业硅生产过程中消耗的炭素材料是B、P的主要来源；选用低B、P的优质还原剂和经过处理的炭素电极,才能保证工业硅产品,满足后续多晶硅提纯工艺的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	储少军	北京科技大学冶金与生态工程学院	97	373	9.0	12.0
2	郎永沛	北京科技大学冶金与生态工程学院	2	12	2.0	2.0