一种基于高线性度弓形支撑梁的新型MEMS陀螺设计

• 作者: 万蔡辛 李丹东 梁新建 薛旭 郑旭东
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微机电陀螺 弓形梁 非线性振动 高线性度
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 仪表与电路
• 页码范围: 49-53
• 分类号: V241.5+9
• 字数: 2960字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.03.011

摘要

由于尺度效应带来的大变形问题,两端固支梁具有的硬弹簧效应将引发MEMS陀螺的非线性“达芬”振动,影响陀螺的线形度和稳定性.本文设计了一种新型高线性度弓形支撑梁,并通过数值仿真证明了弓形梁在大变形条件下也能保证力与位移转换环节间的线性关系.基于该高线性度弓形支撑梁创新性的设计了一种双级解耦MEMS陀螺,在常压下,该新型MEMS陀螺的标度因子非线性度为0.08％ (FS),偏置不稳定性为14°/h,测试结果表明,高线性度弓形支撑梁能够较好的提升MEMS陀螺的线性度与稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丹东		17	114	5.0	10.0
2	万蔡辛		5	17	2.0	4.0
3	薛旭		6	30	4.0	5.0
4	郑旭东		3	4	1.0	2.0
5	梁新建		5	18	2.0	4.0