平板式压电六维力/力矩传感器的研制

• 作者: 刘京诚 刘俊 李敏 秦岚 薛联
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电传感器 六维传感器 力/力矩传感器 有限元分析
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1569-1579
• 分类号: TP212.12
• 字数: 5990字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111907.1569

摘要

针对弹性体式六维力/力矩传感器存在的技术瓶颈,提出了一种新型平板式压电六维力/力矩传感器.首先,介绍了传感器的结构和工作原理,提出了两种石英晶片组布置方案.然后,推导了两种布置方案的传感器的数学模型,并建立了有限元模型,仿真得到了两种结构传感器输出的电荷灵敏度、维间干扰、固有频率等重要参数,确定了石英晶片组相对合理的布置方式.最后,对传感器进行了静态和动态标定.研究结果表明:传感器结构简单合理、仿真分析方法和数学模型正确,固有频率＞25 kHz,使用退耦矩阵后传感器的维间干扰＜3%,基本满足传感器的设计指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦岚	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	57	530	11.0	19.0
2	刘俊	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	71	570	13.0	19.0
3	刘京诚	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	42	341	11.0	15.0
4	薛联	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	20	88	6.0	8.0
5	李敏	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	55	316	9.0	15.0