退火对TiO2薄膜形貌、结构及光学特性影响

• 作者: 卫会云 吴秀文 周惟公 巩毛毛 张笑妍 赵长春 邢杰
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: TiO2薄膜 金红石 锐钛矿 射频磁控溅射 退火
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 实验与应用
• 页码范围: 10-14,17
• 分类号: O484.1|O484.41
• 字数: 3408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2011.05.003

摘要

利用射频磁控溅射技术在熔融石英基片上制备TiO<,2>薄膜,采用X射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱以及透过谱研究了退火温度和退火气氛对TiO<,2>薄膜的结构、形貌和光学特性的影响.实验结果表明:在大气环境下退火,退火温度越.高,薄膜晶化越好,晶粒明显长大,温度高于700℃退火的薄膜,金红石相已明显形成.实验还发现,退火气氛对金红石相的形成是非常重要的,拉曼光谱反应出Ar气氛退火,抑制了金红石晶相的发育,薄膜仍以锐钛矿相为主.Ar气氛退火的薄膜在可见光范围内的透过率比大气退火的要低,并且由透过率曲线推知:金红石的光学带隙约为2.8 eV,比锐钛矿的光学带隙小0.2 eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢杰	中国地质大学(北京)矿物岩石材料开发应用国家专业实验室	12	26	4.0	4.0
3	赵长春		17	48	4.0	5.0