矢量水听器的芯片级减震结构的设计

• 作者: 于佳琪 刘细宝 张国军 李辉 王晓瑶 薛晨阳 许姣
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 矢量水听器 减震 ansys 弹簧 劲度系数
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 835-838
• 分类号: TB565.1
• 字数: 2266字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.06.011

摘要

在MEMS矢量水听器现有结构的基础上,设计出一种新型弹簧减震结构，期望利用该结构提高水听器抗噪能力。根据Ansys有限元仿真，确定出该弹簧的几何尺寸、劲度系数(k≈5 N/m)及弹簧的所在位置——弹簧设置为内外圈相互垂直的两对。仿真结果表明，该减震结构抑制流噪声能力可提高3倍以上，同时几乎不影响水听器的接收灵敏度。该芯片级弹簧减震结构具有一次集成、一致性好、易于组阵、工程应用方便等特点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国军	中北大学电子测试技术重点实验室	75	334	8.0	13.0
2	刘细宝	中北大学电子测试技术重点实验室	3	32	3.0	3.0
4	薛晨阳	中北大学电子测试技术重点实验室	136	765	14.0	21.0
7	许姣		1	4	1.0	1.0
8	王晓瑶		1	4	1.0	1.0
9	于佳琪		1	4	1.0	1.0