光学MEMS微镜技术及其在激光雷达中的应用

• 作者: 刘中杰 董光焰
• 来源期刊: 中国电子科学研究院学报
• 学科: 工学
• 关键词: MOEMS MEMS 激光雷达 实时成像
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: "微系统技术"专题
• 页码范围: 36-38
• 分类号: TN42|TN958
• 字数: 1405字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5692.2011.01.009

摘要

首先概述了MOEMS光学技术的应用及特点,并介绍一类MOEMS光学产品的机理,该技术使得三维实时扫描成像激光雷达小型化成为可能.重点论述一个MEMS激光雷达设计实例,比较其与FLASH激光雷达工作原理的异同,列举了其潜在性能指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董光焰		14	144	7.0	12.0
2	刘中杰		3	21	1.0	3.0