探索人工干预诱导二次形核技术制备纳米金刚石膜

• 作者: 付东辉 刘艳凤 姜宏伟 尹龙承 彭鸿雁 胡威
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 直流热阴极 PCVD 人工干预 二次形核 纳米金刚石膜
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 74-77
• 分类号: O163.71|TQ163
• 字数: 2633字
• 语种: 中文

摘要

围绕纳米金刚石膜生长的二次形核理论,利用直流热阴极PCVD技术,在微晶金刚石膜连续生长模式常用的一些生长条件下,通过改变工作气压,改变生长温度,同时采取人工干预间歇生长模式进行金刚石膜生长实验,探索纳米级金刚石膜制备的新途径.实验表明:在金刚石膜生成的过程中,降低工作气压或生长温度,可使等离子体激励能量减弱,导致二次形核基团比例增加,成为人工干预二次形核的内在诱因；通过调节激励电压,使等离子体能量状况改变,有利于二次形核行为的引导,成为人工干预二次形核的外在诱因,在此内外因素共同作用下,可以实现二次形核现象的有效诱导,制备出纳米金刚石膜.人工干预诱导二次形核技术制备纳米金刚石膜的实现,使纳米金刚石膜制作方法得到了扩展,也拓宽了直流热阴极PCVD技术的应用范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付东辉	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	21	17	2.0	2.0
2	姜宏伟	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	29	46	3.0	5.0
3	彭鸿雁	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	29	94	6.0	8.0
4	尹龙承	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	18	25	2.0	3.0
5	刘艳凤	牡丹江师范学院新型炭基功能与超硬材料省重点实验室	17	40	4.0	5.0