静电悬浮微加速度计高灵敏度电容检测通道设计

• 作者: 严小军 郭晓芳 马高印
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 交通运输
• 关键词: 微加速度计 静电悬浮 电容检测 相敏解调
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 仪表与电路
• 页码范围: 22-25,42
• 分类号: U666.1
• 字数: 2383字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.02.006

摘要

高灵敏度电容式位移检测是实现静电悬浮微加速度计闭环测控的关键技术之一.针对微加速度计径向悬浮检测的特点及指标要求,设计了高灵敏度、高精度电容式微位移检测通道.该通道主要由前置RC隔离网络与C/V转换、高共模抑制比差动放大器、二级运放、二阶压控电压源有源带通滤波、相敏解调(含模拟乘法器与四阶Butterworth低通滤波)及参考载波移相等环节组成,具有灵敏度高、检测精度高、激励带宽大等特点.实验结果表明,检测通道的灵敏度为5.87V/pF,线性度为1.33%,位移检测分辨力约为7.4 nm,能够满足微加速度计闭环悬浮测控的指标要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严小军		36	54	5.0	6.0
2	马高印		8	13	2.0	2.0
3	郭晓芳		2	7	1.0	2.0