氟化聚合物光谱响应平坦化阵列波导光栅的优化设计和制备

• 作者: 秦政坤 马春生
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 阵列波导光栅 光谱漂移 梯型截面 等效能流 串扰
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 609-612
• 分类号: TN252|TN256
• 字数: 2293字
• 语种: 中文

摘要

本文基于阵列波导光栅(AWG)的传输理论,利用含氟聚合物(PFS-co-GMA)共聚物材料,对17×17信道光谱响应平坦化AWG波分复用器进行了参数优化.由于在聚合物阵列波导光栅器件的制备过程中,选用了反应离子刻蚀(RIE)工艺和蒸汽回溶技术,形成的梯形截面波导芯,使AWG传输的光产生相位移,导致传输光谱移动,引起串扰的变化.为此我们运用等效能流分析方法对矩形截面AWG器件的参数进一步修正,通过优化设计弥补了工艺的不足.实验测试结果表明:AWG中心波长约为1550.865 nm,3-dB带宽约为0.478 nm,中心波长插入损耗约为10.5dB,串扰约为-21.5dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦政坤	吉林师范大学信息技术学院	23	56	4.0	6.0
5	马春生		3	6	1.0	2.0